T.Shirakawa 他: "RF Plasma Production at Ultralow Pressures with Surface Magnetic Confinement" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 1015-1018 (1990)
T.Shirakawa 他: "RF Plasma Production at Ultralow Pressures with Surface Magnetic Confinement" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 1015-1018 (1990)
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T. Shirakawa 等人:“利用表面磁约束在超低压下产生射频等离子体”,《日本应用物理学杂志》29. 1015-1018 (1990)。
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