アルミナナノホールアレーにもとづく微細加工プロセス
アルミナナノホールアレーにもとづく微細加工プロセス
复制标题
基于氧化铝纳米孔阵列的微细加工工艺
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
下崇,益田秀樹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
藤本健史;三好大輔;中野修一;杉本直己;下崇,益田秀樹