Y.Ogita: "Silicon wafer subsurface characterization with UV/millimeter-wave technique"Mat.Res.Soc.. 631. AA2.5.1-AA2.5.6 (2000)
Y.Ogita: "Silicon wafer subsurface characterization with UV/millimeter-wave technique"Mat.Res.Soc.. 631. AA2.5.1-AA2.5.6 (2000)
复制标题
Y.Ogita：“利用 UV/毫米波技术进行硅晶片次表面表征”Mat.Res.Soc.. 631. AA2.5.1-AA2.5.6 (2000)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
