箕島弘二: "マイクロマシン/MEMSの現状と将来展望"まてりあ. 41-10. 668-672 (2002)
箕島弘二: "マイクロマシン/MEMSの現状と将来展望"まてりあ. 41-10. 668-672 (2002)
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Koji Minoshima：“微机械/MEMS 的现状和未来前景”Materia 41-10 (2002)。
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