K.Kuwahara,H.Fujiyama: "Measurement of ion-sheath thickness in cathode-fall region of magnetron discharges" Proceedings of the 13th Symposium on Plasma Processing. 235-238 (1996)

K.Kuwahara,H.Fujiyama: "Measurement of ion-sheath thickness in cathode-fall region of magnetron discharges" Proceedings of the 13th Symposium on Plasma Processing. 235-238 (1996)
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K.Kuwahara,H.Fujiyama:“磁控管放电阴极下降区域中离子鞘厚度的测量”第 13 届等离子体处理研讨会论文集。

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