ウルトラファインバブルの圧壊による窒化物半導体基板の酸化促進プロセス ：反応力場分子動力学シミュレーション
ウルトラファインバブルの圧壊による窒化物半導体基板の酸化促進プロセス ：反応力場分子動力学シミュレーション
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超细气泡破裂加速氮化物半导体衬底氧化过程：反作用力场分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下正太郎;岡野成威;望月正人;才田一幸;尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
