Michiaki Endo et al.: "Infrared monitoring of hydrocarbons on 300-mm Si wafers"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 480-484 (1999)
Michiaki Endo et al.: "Infrared monitoring of hydrocarbons on 300-mm Si wafers"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 480-484 (1999)
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Michiaki Endo 等人：“300 毫米硅片上碳氢化合物的红外监测”完美表面的精密科学与技术。
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