A new analytical method for characterising the bonding environment at rough interfaces in high-k gate stacks using electron energy loss spectroscopy.
A new analytical method for characterising the bonding environment at rough interfaces in high-k gate stacks using electron energy loss spectroscopy.
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一种使用电子能量损失光谱表征高 k 栅堆叠中粗糙界面处键合环境的新分析方法。
DOI:
10.1016/j.ultramic.2009.09.013
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
2.2
通讯作者:
Mendis BG
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Mendis BG
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DOI:
--
发表时间:
1995
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Craven
通讯作者:
A. Craven
影响因子:
64.8
作者:
G. Searle
通讯作者:
G. Searle
影响因子:
2.2
作者:
A. Craven;J. Wilson;W. Nicholson
通讯作者:
W. Nicholson
影响因子:
2.2
作者:
H. Gu;M. Čeh;S. Stemmer;H. Müllejans;M. Rühle
通讯作者:
M. Rühle
DOI:
10.1016/j.elspec.2004.03.013
发表时间:
2005-05-01
影响因子:
1.9
作者:
Foran, B;Barnett, J;Stemmer, S
通讯作者:
Stemmer, S