A new analytical method for characterising the bonding environment at rough interfaces in high-k gate stacks using electron energy loss spectroscopy.

A new analytical method for characterising the bonding environment at rough interfaces in high-k gate stacks using electron energy loss spectroscopy.
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一种使用电子能量损失光谱表征高 k 栅堆叠中粗糙界面处键合环境的新分析方法。

DOI:
10.1016/j.ultramic.2009.09.013
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
2.2
通讯作者:
Mendis BG
Mendis BG
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
Mendis BG

文献摘要

参考文献

被引文献

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