低障壁TiN/n-Geコンタクトの形成とコンタクト抵抗評価

低障壁TiN/n-Geコンタクトの形成とコンタクト抵抗評価
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低势垒 TiN/n-Ge 接触的形成和接触电阻的评估

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中島寛
中島寛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山本圭介;原田健司;楊海貴;王冬;中島寛

文献摘要

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