Local structure analysis of Si-containing DLC films by X-ray absorption spectroscopy
Local structure analysis of Si-containing DLC films by X-ray absorption spectroscopy
复制标题
X射线吸收光谱法分析含Si DLC薄膜的局部结构
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Kanda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takayuki Hasegawa;Masaharu Uemura;Tohru Awane;Noboru Fukada;Kazuhiro Kanda;Sei Fukushima;Kazuhiro Kanda
