Structure Control of ZnO Film Surface Using Plasma-Assisted Mist CVD
Structure Control of ZnO Film Surface Using Plasma-Assisted Mist CVD
复制标题
使用等离子体辅助雾气 CVD 控制 ZnO 薄膜表面的结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuichi Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosuke Takenaka;Yuichi Setsuhara
