Effect of Atmospheric Pressure Nitrogen Plasma Assistance on Mist CVD of Zinc Oxide Thin Films
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复制标题
大气压氮气等离子体辅助对氧化锌薄膜雾气CVD的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keigo Takeda and Mineo Hiramatsu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroya Kobayashi;Keigo Takeda and Mineo Hiramatsu
