Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去
Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去
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去除硅介孔形成过程中产生的微孔层
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒木伸太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hayase;S.Araki;J.G.A.Brito-Neto;荒木伸太郎
