Reactive sputter depositions of various TCO films with the low resistivity
Reactive sputter depositions of various TCO films with the low resistivity
复制标题
各种低电阻率TCO薄膜的反应溅射沉积
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Junjun Jia and Nobuto Oka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuzo Shigesato;Junjun Jia and Nobuto Oka
