Development of Complicated Engroving System for Microstructure
Development of Complicated Engroving System for Microstructure
复制标题
复杂微结构雕刻系统的研制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Huawei CHEN
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野口直人;石塚智也;藤澤清史;小島隆彦;Huawei CHEN
