M.Shiratani,S.Maeda,Y.Matsuoka,K.Tanaka,K.Koga and Y.Watanabe: "Methods of suppressing cluster growth in silane rf discharges"Materials Research Society Symposium Proceedings. 609. A5.6.1-A5.6.6 (2000)
M.Shiratani,S.Maeda,Y.Matsuoka,K.Tanaka,K.Koga and Y.Watanabe: "Methods of suppressing cluster growth in silane rf discharges"Materials Research Society Symposium Proceedings. 609. A5.6.1-A5.6.6 (2000)
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M.Shiratani、S.Maeda、Y.Matsuoka、K.Tanaka、K.Koga 和 Y.Watanabe：“抑制硅烷射频放电中簇生长的方法”材料研究会研讨会论文集。
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