触媒針電極を用いたシリコン基の微細加工
触媒針電極を用いたシリコン基の微細加工
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使用催化针电极微加工硅基团
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉田智彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroshi Yao;Shogo Kobayashi;Keisaku Kimura;杉田智彦
