篠原敦志: "DC及びRF電界下におけるSiH^+_3イオンスオームのモンテカルロシミュレーション" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス(11B-08). (1). 409-412 (1995)
篠原敦志: "DC及びRF電界下におけるSiH^+_3イオンスオームのモンテカルロシミュレーション" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス(11B-08). (1). 409-412 (1995)
复制标题
Atsushi Shinohara：“直流和射频电场下 SiH^+_3 离子群的蒙特卡罗模拟”第 12 届等离子体处理研究组论文集 (11B-08) (1995)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
