M.Shindo,S.Hiejima,Y.Ueda,S.Kawakami,S.Ishii and Y.Kawai: "Parameters measurement of ECR C_4F_8/Ar plasma"Thin Solid Films. 345. 130-133 (1999)
M.Shindo,S.Hiejima,Y.Ueda,S.Kawakami,S.Ishii and Y.Kawai: "Parameters measurement of ECR C_4F_8/Ar plasma"Thin Solid Films. 345. 130-133 (1999)
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M.Shindo、S.Hiejima、Y.Ueda、S.Kawakami、S.Ishii 和 Y.Kawai：“ECR C_4F_8/Ar 等离子体的参数测量”固体薄膜。
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