Nitrogen and helium gas field ion source for nanofabrication
Nitrogen and helium gas field ion source for nanofabrication
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用于纳米加工的氮气和氦气场离子源
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Shimoda and M. Mizuta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. E. Schmidt;K. Nagahara;O. Takechi;M. Akabori;A. Yasaka;T. Shimoda and M. Mizuta
