Characterisation of aluminium oxide thin films deposited on polycarbonate substrates by reactive magnetron sputtering
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通过反应磁控溅射在聚碳酸酯基底上沉积的氧化铝薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Pischow
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Koski;J. Hölsä;P. Juliet;Z. Wang;R. Aimo;K. Pischow
