TiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響
TiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響
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沉积后基体淬火处理对TiN薄膜力学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田邉裕貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田邉裕貴
