原子層堆積法によるAl2O3/ZnO/Al2O3構造の薄膜成長
原子層堆積法によるAl2O3/ZnO/Al2O3構造の薄膜成長
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原子层沉积法生长Al2O3/ZnO/Al2O3结构薄膜
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村 篤志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
今井 悠真;小林 舜;居波 渉;中村 篤志
