D.Muto et al.: "Self-Limited Layer-by-Layer Growth of Si by Alternated SiH_4 Supply and Ar Plasma Exposure"AVS 48th International Symposium, San Francisco, California, Oct.29-Nov.2. EL-WeA3. 179 (2001)
D.Muto et al.: "Self-Limited Layer-by-Layer Growth of Si by Alternated SiH_4 Supply and Ar Plasma Exposure"AVS 48th International Symposium, San Francisco, California, Oct.29-Nov.2. EL-WeA3. 179 (2001)
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D.Muto 等人：“通过交替 SiH_4 供应和 Ar 等离子体暴露实现 Si 的自限层逐层生长”AVS 第 48 届国际研讨会，加利福尼亚州旧金山，10 月 29 日至 11 月 2 日。
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