Multi-Scale Simulation System for Electrochemical Nucleation and Growth : Application to Device Fabrications

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电化学成核和生长的多尺度模拟系统:在器件制造中的应用

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金子豊
金子豊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
横田光広;松元和正;金子豊;N. Nishimura;Shinya Miyajima;H. Minamide;金子豊

文献摘要

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