PBII 法による DLC-Si-N 膜の形成
PBII 法による DLC-Si-N 膜の形成
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PBII法形成DLC-Si-N薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡部修一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李祥暉;遠藤壮人;渡部修一
