アモルファスHfO2基薄膜における直方晶相形成過程の調査
アモルファスHfO2基薄膜における直方晶相形成過程の調査
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非晶 HfO2 基薄膜中矩形相形成过程的研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白石貴久・木口賢紀・今野豊彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
諸岡聡;山下享介;ハルヨステファヌス;土山聡宏;白石貴久・木口賢紀・今野豊彦
