Evaluation of a free spectral range of an etalon for a reference of an alignment monitor
Evaluation of a free spectral range of an etalon for a reference of an alignment monitor
复制标题
评估标准具的自由光谱范围以作为对准监视器的参考
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M. Michihata and S. Takahashi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Kume;T. Mibe;M. Michihata and S. Takahashi