「薄膜ハンドブック(第2版)」第1章 第2節 スパッタリング(編集)
「薄膜ハンドブック(第2版)」第1章 第2節 スパッタリング(編集)
复制标题
《薄膜手册（第2版）》第1章第2节溅射（编辑）
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他332名
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
森本章治;他332名
