测量微米级薄膜厚度与弹性模量的一种新方法
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DOI:
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发表时间:
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期刊:
影响因子:
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通讯作者:
沈为等
中科院分区:
文献类型:
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作者:
李伟;邓泽坚;彭立华;沈为等