エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの選定－研磨パッド変形特性の評価方法－
エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの選定－研磨パッド変形特性の評価方法－
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对抑制边缘滚落有效的研磨垫的选定 -研磨垫变形特性的评价方法 -
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐竹うらら，榎本俊之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hui Deng;Kenji Hosoya;Yusuke Imanishi;Katsuyoshi Endo;Kazuya Yamamura;佐竹うらら，榎本俊之
