Low-Damage Plasma and Photon-Induced Processes for Low-Temperature and Nano-Surface Modification of Materials
Low-Damage Plasma and Photon-Induced Processes for Low-Temperature and Nano-Surface Modification of Materials
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用于材料低温和纳米表面改性的低损伤等离子体和光子诱导工艺
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.;Setsuhara
