Fabrication of MEMS-integrated photonic crystal waveguide and demonstration of its switching operation
Fabrication of MEMS-integrated photonic crystal waveguide and demonstration of its switching operation
复制标题
MEMS 集成光子晶体波导的制造及其开关操作演示
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Iwamoto et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kitamura;S.Iwamoto;Y.Arakawa;S.Iwamoto et al.;S.Iwamoto et al.
