数nm-MOS素子用二次元Si層検討(Ⅺ):C添加による物性変調
数nm-MOS素子用二次元Si層検討(Ⅺ):C添加による物性変調
复制标题
几种 nm-MOS 器件的二维 Si 层检查 (Ⅺ):通过添加 C 来调节物理性能
DOI:
--
复制
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
[52]長嶺 由騎,鈴木 佑弥,青木 孝,水野 智久
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Tomohisa Mizuno;Keisuke Tobe;Yohichi Maruyama;and Toshiyuki Sameshima;加藤丈政・鎌田克洋・加藤紀樹・陳 春平・穴田哲夫;鈴木 佑弥,長嶺 由騎,青木 孝,前田 辰郎,水野 智久;武田重喜・一瀬裕弥・穴田哲夫・陳 春平;[52]長嶺 由騎,鈴木 佑弥,青木 孝,水野 智久