X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価
X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価
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使用 X 射线倒易晶格空间映射评估台面结构碳掺杂硅的 3 轴应变
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小椋 厚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉岡 和俊;小原田 賢聖;小笠原 凱;廣沢 一郎;渡辺 剛;横川 凌;小椋 厚志
