MEMS技術による柔軟型シリコン触覚イメージセンサ

MEMS技術による柔軟型シリコン触覚イメージセンサ
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采用 MEMS 技术的柔性硅触觉图像传感器

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
第10回システムLSIワークショップ,(06年11/27-11/29、北九州市)
影响因子:
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通讯作者:
石田誠
石田誠
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
矢和田将貴;高尾英邦;澤田和明;石田誠

文献摘要

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