Bias Potential Dependence of Microcrystalline Silicon Structure in Hydrogen Radical CVD
Bias Potential Dependence of Microcrystalline Silicon Structure in Hydrogen Radical CVD
复制标题
氢自由基CVD中微晶硅结构的偏压依赖性
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Jeon;et al.
