反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工と
反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工と
复制标题
使用反应离子蚀刻方法微加工聚合物
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
鍋澤浩文
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI;吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋;鍋澤浩文
