任意パターン形状のダイヤモンドCVD膜の形成技術

任意パターン形状のダイヤモンドCVD膜の形成技術
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任意图案形状金刚石CVD薄膜的形成技术

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会九州支部鹿児島地方講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
竹下 温
竹下 温
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
大久保誠史;渡邉純二;峠 睦;竹下 温

文献摘要

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