高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発

高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
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使用聚合物模板通过溶胶-凝胶法开发 PZT 结构形成工艺

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
センサ・マイクロマシン部門総合研究会2010
影响因子:
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通讯作者:
江刺正喜
江刺正喜
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
秋山琴音;石井大佑;田中秀治;下村政嗣;川合祐輔;吉田慎哉;江刺正喜

文献摘要

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