SiO_2/SiO_x/3C-SiC/n-Si(001)Nonvolatile Resistance Memory Formed with One-Stage Oxidation Process

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一步氧化工艺形成的SiO_2/SiO_x/3C-SiC/n-Si(001)非易失性电阻存储器

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Y. Suda
and Y. Suda
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Yamaguchi;H. Hasegawa;and Y. Suda

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