Theoretical Approach of the Reduction of the Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam
Theoretical Approach of the Reduction of the Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam
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气体-FIB 形成气态纳米束的加速透镜系统中减少色差和球差的理论方法
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Ohkubo;Y.Ishii;T.Kojima;T.Kamiya
