Micro-nano position control system using interferometric phenomena
Micro-nano position control system using interferometric phenomena
复制标题
利用干涉现象的微纳位置控制系统
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomoya Higuchi;et al.
