ラングミュアプローブによる真空アーク金属表面酸化膜除去時の電極間プラズマの測定

ラングミュアプローブによる真空アーク金属表面酸化膜除去時の電極間プラズマの測定
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使用朗缪尔探针测量真空电弧金属表面氧化膜去除过程中的极间等离子体

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
杉本尚哉
杉本尚哉
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
伊波周吾;杉本尚哉

文献摘要

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