炭素CVDにおける気相および表面反応シミュレーション
炭素CVDにおける気相および表面反応シミュレーション
复制标题
碳 CVD 中的气相和表面反应模拟
DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
則永行庸
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
櫻井靖紘;畠山朋;則永行庸;林潤一郎;Susumu Inasawa and Yukio Yamaguchi;則永行庸