炭素CVDにおける気相および表面反応シミュレーション

炭素CVDにおける気相および表面反応シミュレーション
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碳 CVD 中的气相和表面反应模拟

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
則永行庸
則永行庸
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
櫻井靖紘;畠山朋;則永行庸;林潤一郎;Susumu Inasawa and Yukio Yamaguchi;則永行庸

文献摘要

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