S.Sugiyama, Y.Zhang, M,Hosaka, H.Ueno, O.Tabata, S.Konishi and R.Maeda: ""Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline"" Microsystem Technologies. Vol.4, No.2. 61-63 (1998)
S.Sugiyama, Y.Zhang, M,Hosaka, H.Ueno, O.Tabata, S.Konishi and R.Maeda: ""Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline"" Microsystem Technologies. Vol.4, No.2. 61-63 (1998)
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S.Sugiyama、Y.Zhang、M、Hosaka、H.Ueno、O.Tabata、S.Konishi 和 R.Maeda：“使用紧凑型 SR 光束线制造高纵横比 MEMS 微型零件的研究”Microsystem Technologies。
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