酸化亜鉛を⽤いた圧電素⼦の作製プロセスの検討
酸化亜鉛を⽤いた圧電素⼦の作製プロセスの検討
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氧化锌压电元件制造工艺研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柏葉安宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋葉大輔 ; 佐々木匠 ; 鈴木順 ; 柏葉安宏
