Positioning control effectiveness of optical knife edge displacement sensor-embedded monolithic precision stage
Positioning control effectiveness of optical knife edge displacement sensor-embedded monolithic precision stage
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嵌入式光学刀口位移传感器单片精密平台的定位控制效果
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Joshua A. Tarbutton
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chabum Lee;Sun;Joshua A. Tarbutton
