テラヘルツ時間領域分光法を用いた反応性プラズマの先駆的診断手法の開発
テラヘルツ時間領域分光法を用いた反応性プラズマの先駆的診断手法の開発
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使用太赫兹时域光谱开发反应等离子体的开创性诊断方法
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北野勝久;安藤あゆみ;北原英明;黒瀬智子;高野恵介;谷正彦;萩行正憲;浜口智志
