光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測

光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測
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使用光和应变组合检测 MEMS 传感器进行接近和触觉测量

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
影响因子:
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通讯作者:
寒川 雅之
寒川 雅之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
横山 輔久登;金島 岳;奥山 雅則;安部 隆;野間 春生;東 輝明;寒川 雅之

文献摘要

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